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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:半導(dǎo)體封裝材料真空探針臺(tái) 集成化設(shè)計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):HuaceZ600-D
  • 產(chǎn)品廠商:華測
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
真空探針臺(tái)特點(diǎn):精密小巧、按需定制、集成化設(shè)計(jì)、性能穩(wěn)定,測試類型: R-T ,C-V, I-V,R-I,Cp-D, ε測試,搭配儀器:源表、高阻計(jì)、直流低電阻測試儀、阻抗分析儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀。
詳情介紹:

產(chǎn)品參數(shù)

01.腔體:高真空腔體

02.樣品臺(tái)尺寸4英寸

03.樣品固定彈簧壓片

04.觀察窗口6英寸

05.觀察窗口材質(zhì):藍(lán)寶石(保證紫外光的透光性)

06.真空度2帕

07.探針臂接口4個(gè)探針臂接口

08.電學(xué)測試接口3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10KV*1

09.輔助接口真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護(hù)氣接口、表面溫度熱電阻接口*2

10.制冷方式液氮

11.溫度范圍-196℃~600℃

12.溫控精度±0.1℃

13.穩(wěn)定性-196℃-常溫±0.5℃、常溫-600℃±0.2℃

14.外形650mm長*650mm寬*460mm高

15.重量約100千克

光學(xué)系統(tǒng)

01.顯微鏡類型單筒顯微鏡

02.放大倍率20X-180X

03.移動(dòng)行程 X軸行程100MM  Y軸行程50MM  Z軸行程50mm

04.光源外置LED環(huán)形光源

05.CCD2800萬像素

06.顯示器10寸LED

探針臂

01.X-Y-Z移動(dòng)行程:20mm*20mm*20mm

02.結(jié)構(gòu)外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)

03.移動(dòng)精度10微米

探針組件

01.線纜同軸線

02.接頭類型SMA

03.漏電精度10fA

04.固定探針夾緊固定

05.頻率支持DC-67GHZ

06.針尖直徑0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

高壓組件

01.線纜高壓電纜10KV

02.接頭類型香蕉頭

其他組件

01.真空組件機(jī)械泵

02.冷源組件10L液氮罐


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